近日，由陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司（以下简称“天宏瑞科”）牵头实施的陕西省科技厅科技计划项目《硅烷西门子法电子级多晶硅》通过验收。

本次验收通过项目专题汇报、资料审阅、现场核验、质询答辩相结合的方式，逐项核查技术指标、创新成果、经费执行及产业化落地情况。经过全面严谨评审，项目各项既定指标均圆满完成，多项关键性能指标优于预期，成功攻克超高纯高阻区熔多晶硅制备核心技术，相关工艺已完成产线规模化验证与落地应用，切实打通科研成果产业化转化通道。

高阻区熔多晶硅是高压功率器件、特种集成电路、射频半导体等高端元器件制造的核心基础原材料，对产品纯度、晶体完整度、杂质管控精度有着极高要求。项目实施期间，依托陕西省及企业技术中心省级研发平台，天宏瑞科研发团队先后突破硅烷超高纯提纯、高阻均匀区熔硅芯、超高阻大直径区熔多晶硅棒国产化等多项关键技术，搭建起具备完全自主知识产权的区熔级电子多晶硅完整量产工艺体系。相关产品经权威机构检测及下游企业量产验证，各项性能稳定可靠，现已批量供应国内重点科研机构与产业化企业，有效填补国内高端区熔硅材料供给缺口，显著提升我国硅基新材料核心竞争力与产业链供应链安全保障能力，实现国内电子级多晶硅国产化关键性跨越。（邢阳阳）