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西北首条8英寸高性能特色工艺半导体生产线正式投产

2025-11-28 11:13:06 来源:西北在线

11月27日,由陕西电子信息集团为投资主体建设的陕西电子芯业时代科技有限公司(以下简称“芯业时代”)8英寸高性能特色工艺半导体生产线正式实现通线投产。

作为西北地区首条8英寸芯片产线,该项目总投资45亿元,一期已完成投资32亿,项目于9月正式通线投产,标志着陕西在高端半导体制造领域取得重大突破,将为我国功率半导体国产化替代注入强劲动能。

高标准打造自主化产线 国产设备占比领先

该产线采用“建成即先进”理念,不仅预留了12英寸产线升级空间,更实现关键设备自主可控——主工艺设备国产化率超60%,辅机辅件国产化率近90%。此外,超80%的设备兼容第三代半导体研发与生产,为碳化硅等前沿技术布局奠定基础。

自2024年5月主厂房首根桩基施工以来,项目团队以分区并行策略加速建设。2025年3月首台工艺设备搬入,8月中旬完成通电联调,9月底实现流片试生产。

截至目前,洁净室环境及厂务动力系统均已达标投运,光刻、刻蚀等核心工艺区通线设备调试已基本完成,产品良率已突破95%,年底将累计实现数千片晶圆生产销售。

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芯业时代功率半导体芯片产品可广泛应用于手机等消费级电子终端各式产品、绿色能源产业、车规级高端应用场景,以及关系国计民生的高压特高压输变电领域,市场应用广泛,进口替代空间广阔。

项目主要技术包括创新型新结构中低压器件、高可靠中高压功率器件、满足特定应用需求COT功率集成电路等工艺平台,目前已与海内外多家客户形成实质性业务合作。

“芯业时代8吋线项目通线投产能够有效填补陕西集成电路制造短板,打造具有陕西特色的集成电路产业聚集区,并为后续12英寸产线建设积累经验。”陕西电子信息集团副总经理、芯业时代董事长杨柯介绍。

强化区域产业链协同 服务国家战略性产业

该项目聚焦工业级、车规级功率器件(如IGBT、碳化硅芯片),直接服务新能源汽车、风光储能、人工智能数据中心等国家战略性产业,有效缓解高端芯片进口依赖问题,与西安已有的亚成微、奕斯伟、华天等200余家半导体企业形成“材料—设计—制造—封测”全链条生态,助推陕西集成电路产业加快做强做优做大。

“2025年公司已完成项目一期2万片/月产能建设,150余台套主工艺设备及400余台套辅助工艺设备均已完成设备移入、定位安装、二次配管工作。”陕西电子芯业时代总经理张国伟表示,设备调试与核心单项工艺开发均按规划高质量有序推进,12月份将实现数千片产出。目前,公司已经与8家已上市或同等规模企业形成实质业务合作,明年全年产能已基本售罄。

展望“十五五”,芯业时代计划投资190亿元,分阶段推进国内顶尖大规模晶圆制造特色工艺平台产线建设,逐步构建覆盖8吋/12吋,深度聚焦高性能高可靠硅基半导体芯片、化合物半导体、光电融合芯片等特色工艺平台产线,为陕西培育新质生产力、构建现代化产业体系提供核心支撑。

本报记者 刘姚

责任编辑:王菲
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